high – NA – machines
Met de high-NA-machines introduceert ASML een tweede generatie en borduurt zo voort op zijn succesverhaal met de euv-machines. Zo klein als de lijntjes die met high-NA kunnen worden gemaakt, zo immens groot zijn andere getallen die de nieuwe technologie van ASML kenmerken. Zijn er voor het transport van een euv-machine naar de klant drie Boeing 747’s nodig, voor high-NA zijn dat er 7.
Over de ontwikkeling van de eerste euv heeft ASML twintig jaar gedaan, en er zijn miljarden onderzoeksgeld in dit project gestopt. Pas in 2018 waren de machines zo ver doorontwikkeld dat ze konden worden ingezet voor de productie van chips. High-NA komt nu snel achter de euv-machines aan.
De ontwikkeling van euv was complex omdat de technologie consequenties had voor het systeem in en rondom de machine. Bij euv wordt gebruik gemaakt van een nieuw soort lichtbron – extreem ultravioletlicht, dat wordt opgewekt door met een laser op druppeltjes tin te schieten- en daarvoor moest de wafer waar het licht op valt worden aangepast, net als het zogenoemde masker, dat het lijnenpatroon op de chip bepaalt.
Met high-NA blijft euv de lichtbron. ASML veranderde de openingshoek van de spiegels die het licht vangen, de ‘numerieke apertuur’ (NA). Met het vergroten van de openingshoek- van 0,33 naar 0,55 – wordt het beeld scherper, en de belichte lijntjes op de chip een slag kleiner (3 nanometer).
Bij een grotere invalshoek wordt het beeld diffuser, en dat vraagt om aanpassing van de spiegels. Spiegels worden door de Duitse toeleverancier Zeiss tot op atomair niveau glad geslepen.
De high-NA-machines bouwen voort op euv en dat maakt de overgang minder groot
Euv is strategisch zo belangrijk dat de Amerikaanse overheid vindt dat deze machines niet in Chinese handen mogen belanden. Maar terwijl het geopolitieke steekspel rondom deze machines nog in volle gang is, is ASML zelf alweer bijna klaar om de opvolger van euv te lanceren. In 2022 worden naar verwachting de eerste zogeheten high-NA-machines geleverd.
Wie controleert de kwaliteit van ASML
NEARFIELD in Rotterdam heeft in een HIGHCARE Cleanroom een machine ontwikkeld waarmee men in staat is de kwaliteit te controleren.
<NEARFIELD checks wafers in a HIGHCARE Cleanroom>
